歡迎來到無錫市恒盛凈化空調有限公司!

全國服務電話:

400 828 0738

產品列表

PRODUCT LIST

聯系我們

CONTACT US

    全國服務電話:

    4008280738

  • 聯系:許先生
  • 電話:4008280738
  • 手機:13706191461
  • 郵箱:wxhengsheng@163.com
  • 網址:www.45lielie.com
  • 廠址:無錫市惠山經濟開發區堰橋配套區堰橋路12號
首頁 > 行業資訊 > 詳細內容

潔凈車間中的溫濕度控制

發布時間:2017-01-06

     潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。


    具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,食品潔凈車間,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。


    濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,醫療潔凈車間,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產適宜溫度范圍為35—45%。

相關新聞RELATED NEWS
相關產品RELATED PRODUCT

Copyright© www.45lielie.com(復制鏈接) 無錫市恒盛凈化空調有限公司

專業提供:無錫凈化工程,FFU凈化工程,潔凈室工程等,歡迎來電咨詢!

技術支持:  備案號:蘇ICP備05034893號

手機網站二維碼

在線QQ

聯系手機13706191461

聯系電話4008280738


人人妻人人澡人人爽